技術(shù)編號：4336334
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及具有定位功能的載物臺、包括該具有定位功能的載物臺的處理裝置和 基板定位方法，特別涉及包括沿一根軸自由移動地配置的涂布頭的噴墨式涂布裝置中所采 用的。背景技術(shù)已知使用噴墨式涂布裝置(下面稱為“涂布裝置”)可以不經(jīng)光刻工藝直接在基板 上形成微細的導(dǎo)電圖形等，近年來，在大面積薄膜晶體管基板的制作工藝中形成數(shù)ym的 高精細源極·漏極電極圖形、形成平板顯示器用的色彩濾光片、取向膜或墊片中也被加以利用。對于該種涂布裝置，在專利文獻1中公開了具有如下結(jié)構(gòu)的涂布...
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