技術(shù)編號：4335785
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。非接觸搬運裝置本實用新型涉及一種搬運裝置，特別是一種用于搬運表面平坦的工件同時與工件 不發(fā)生任何接觸的非接觸搬運裝置。背景技術(shù)隨著電子技術(shù)的高速發(fā)展，半導體硅晶板趨向于高集成化和基板大型化，同時，液 晶玻璃板等高性能器件也朝著大型化的方向發(fā)展。在搬運這些器件時，不能有任何接觸，因 為接觸會使器件表面產(chǎn)生劃痕和靜電，從而導致廢品的產(chǎn)生。另外在醫(yī)藥生產(chǎn)方面，在藥 物的搬運過程中，也常常會因為接觸而產(chǎn)生藥物污染，因此，對無接觸搬運的需求已越來越 大。為了避免因搬...
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