技術編號：4328875
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及硅材料的酸石咸處理設備，尤其涉及一種用于硅材料酸堿 處理設備中可隨硅片吊籃一起移動的隨動噴霧裝置。背景技術在硅片處理中，由于硅片在約85。C高溫的NaOH或KOH液體內處理后，反 應生成物(硅酸鹽)會隨著硅片的提出粘附于硅片表面，硅酸鹽在后續(xù)的工 序需清洗干凈。硅片剛提出時，表面溫度很高，且硅片很薄(0. 2mm左右)， 很容易發(fā)干。當硅片附著的硅酸鹽發(fā)干后，很難在后續(xù)清洗工序中清洗干凈， 從而影響硅片的表面質量和性能。因此，如何在硅片提起時...
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