技術(shù)編號(hào)：4313158
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種磁控濺射環(huán)包裝件，用于包裝所述磁控濺射環(huán)，所述磁控濺射環(huán)包括磁控濺射環(huán)首端和磁控濺射環(huán)尾端，所述磁控濺射環(huán)首端和磁控濺射環(huán)尾端形成開口，包括包覆所述磁控濺射環(huán)的第一膜層；第一端口保護(hù)件，包覆位于磁控濺射環(huán)首端的第一膜層和磁控濺射環(huán)首端；第二端口保護(hù)件，包覆位于磁控濺射環(huán)尾端的第一膜層和磁控濺射環(huán)尾端。采用本實(shí)用新型的磁控濺射環(huán)包裝件可以有效的保護(hù)在內(nèi)的磁控濺射環(huán)。專利說明磁控濺射環(huán)包裝件 [0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種磁控濺射...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。