技術編號：4258298
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種能夠抑制玻璃基板的處理造成的損傷的。一種玻璃基板吸附用具，其具備流路（81）；吸附部（60），其能夠利用范德瓦爾斯力吸附玻璃基板；壓力控制部（80a），其使所述流路（81）內的流體壓力變化；片材（100），其在所述流路（81）與所述吸附部（60）之間通過所述流體壓力的變化而變形，以使在所述吸附部（60）和與所述吸附部（60）接觸的玻璃基板之間產生的吸附力變化。一種玻璃基板的制造方法，具有研磨玻璃基板的工序、清洗玻璃基板的工序、檢查玻璃基板的工...
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