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襯底搬進(jìn)搬出裝置和方法及襯底搬送裝置和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4210898

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本發(fā)明涉及一種用于把半導(dǎo)體襯底、液晶襯底等板狀的襯底從存放容器搬出或搬進(jìn)存放容器的襯底搬進(jìn)搬出裝置和襯底搬進(jìn)搬出方法,和從存放容器把上述襯底搬送到處理裝置等的襯底搬送裝置和襯底搬送方法。本申請(qǐng)是要求2003年8月20提出申請(qǐng)的日本國(guó)專利申請(qǐng)第2003-296453號(hào)和日本國(guó)專利申請(qǐng)第2003-296454號(hào)的優(yōu)先權(quán),在這里引用其內(nèi)容。背景技術(shù) 現(xiàn)在,在半導(dǎo)體等襯底的制造工序中,多片該襯底貯存在存放容器內(nèi),用襯底搬進(jìn)搬出裝置從該存放容器搬出并送到襯底搬送裝置...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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