技術編號：4207934
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。背景技術 電子設備制造工業(yè)需要多種液體化學制品作為原材料或者前體來制造集成電路和其它的電子設備。在用于晶體管和柵氧化層，以及需要不同金屬的電路，隔離層，半導體中的電路(vias)中的半導體需要摻雜各種化學制品來提供適當?shù)碾娮有阅?，因而出現(xiàn)上述需求。此外，介電層用于滿足電容器以及內(nèi)層介電的需要上。制造需要脫除雜質(zhì)(substractive)的技術，該技術需要抗蝕劑，平面化(planarization)的化學過程和現(xiàn)象，和蝕刻劑。在這些應用中的所有的化學制品需...
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