技術(shù)編號：4205189
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域。更具體地說，本發(fā)明涉及一種改進(jìn)的在加工半導(dǎo)體片的濕式浸蝕/沖洗步驟中從半導(dǎo)體片上除去有機(jī)物質(zhì)的方法。本發(fā)明還涉及一種用于實(shí)施在半導(dǎo)體片的加工過程中用液體處理半導(dǎo)體片的方法和其它方法的裝置。在半導(dǎo)體片的加工中，幾個工藝步驟都需要使半導(dǎo)體片與液體接觸。這些工藝步驟的例子是浸蝕、除去光敏抗蝕劑和預(yù)擴(kuò)散清洗。通常這些步驟使用的化學(xué)試劑往往是有毒的，它們可能是強(qiáng)酸、強(qiáng)堿或揮發(fā)性溶劑。常規(guī)的使半導(dǎo)體片與處理液相接觸的裝置是一組處理槽或池，將裝...
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