技術(shù)編號(hào)：4200496
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶片的運(yùn)輸載體，特別是關(guān)于一種存貯和運(yùn)輸晶片的可密封的容器。背景技術(shù) 多年來，在半導(dǎo)體制造行業(yè)廣泛采用稱為運(yùn)輸箱的可密封的附件，來實(shí)現(xiàn)在各生產(chǎn)階段之間和/或各設(shè)施之間半導(dǎo)體晶片的存貯和運(yùn)輸。眾所周知，半導(dǎo)體晶片特別容易受到污染物例如微粒的損害。因此，在半導(dǎo)體晶片被存貯和加工裝入電路的保潔室和其他環(huán)境條件下，為了消除污染物的損害需要采取特別的防護(hù)措施。目前一般采用SMIF(標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)械接合面)式箱來為200MM或更小尺寸的晶片提供清潔密封的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。