技術(shù)編號：4178771
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及研制一種硅片的包裝容器以用于該硅片的儲存和運(yùn)輸，特別是大直徑的硅片，如12英寸硅片。要求盛裝硅片的容器可以保證在硅片生產(chǎn)過程中，無論遇到撞擊、傾倒還是振動，其內(nèi)部裝載的硅片都不會損傷，而且要求該容器是密封的，以保證硅片不被外界的污染源所污染。背景技術(shù) 硅材料是半導(dǎo)體材料發(fā)展的基礎(chǔ)，也是集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)。IC的發(fā)展是靠提高產(chǎn)品性能和降低生產(chǎn)成本來達(dá)到的?？s小特征尺寸和使用更大直徑的硅片是主要手段。因此大直徑是今后硅材料發(fā)展的趨勢。在硅...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。