技術(shù)編號：40466529
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請的實施例涉及半導體器件及其制造方法。背景技術(shù)、集成電路(ic)材料和設(shè)計的技術(shù)演變導致每一代電路都更小、更復雜。在這種ic演進過程中，功能密度(即每芯片面積的互連器件數(shù)量)通常會增加，而幾何尺寸(即，使用制造工藝可以創(chuàng)建的最小組件(或線))則會減小。這種按比例縮小提供了提高生產(chǎn)效率和降低相關(guān)成本的好處。、上述按比例縮小進一步增加了ic制造的復雜性，因此，為了充分實現(xiàn)這些進步，需要在ic制造方面進行相應(yīng)的發(fā)展。技術(shù)實現(xiàn)思路、根據(jù)本申請實施例的一個方面，提供了一種半導體器件，包括：第一鰭...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。