技術(shù)編號：40450265
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多晶硅還原爐控制，具體涉及一種多晶硅還原爐控制方法、設(shè)備以及可讀存儲介質(zhì)。背景技術(shù)、多晶硅是光伏行業(yè)的重要原料，隨著可再生能源開發(fā)利用的不斷發(fā)展，多晶硅供應(yīng)與需求不斷上升，樂觀估計，到年全球多晶硅需求有望達到萬噸。目前主流的生產(chǎn)多晶硅的方法為改良西門子法，該方法利用化學(xué)氣相沉積的原理，在還原爐內(nèi)攝氏度左右的高溫下，使用氫氣還原三氯氫硅得到沉積在硅芯上的多晶硅。、在傳統(tǒng)工業(yè)制造過程中，尤其是在涉及還原爐等關(guān)鍵設(shè)備的操作中，多晶硅還原爐控制往往依賴于人工經(jīng)驗和定期...
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