技術(shù)編號:40445444
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)屬單晶硅棒加工,更具體地說,特別涉及一種單晶硅棒加工冷卻裝置。背景技術(shù)、目前,單晶硅棒,是用于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池的,單晶硅棒是通過區(qū)熔或直拉工藝在爐膛中整形或提拉形成的,是硅原子按籽晶的晶格排列方向,重新排列的硅單晶體棒。單晶硅棒于生產(chǎn)過程中,需要通過降溫輔助其成型,于是使用冷卻設(shè)備對其進行加工。、現(xiàn)有的降溫設(shè)備通常采用水冷方式進行冷卻,雖然可以進行快速冷卻,但是硅棒在冷卻前會由于表面過熱,吸附外部的粉塵,同時水冷過后表面還附帶有水珠,很容易粘塵,導(dǎo)致表面被污染,無法保證硅棒在...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。