技術編號：40407509
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造，尤其涉及一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡的外延生長率計算方法及系統(tǒng)。背景技術、外延生長就是在晶圓襯底上生長上一層單晶膜(單晶層)，這層單晶膜稱為外延層。此晶圓襯底不一定與外延層有相同材質及組成，外延層與晶圓襯底是相同材質時稱為同質外延生長，不同材質時稱為異質外延生長。因此，外延層的晶體結構是晶圓襯底晶體結構的延伸，通過外延生長可使元件有較高的擊穿電壓或電流處理能力。在半導體外延生長工藝中，精確計算生長率對于優(yōu)化生長工藝和提高成膜質量至關重要。傳統(tǒng)方法在生長率計算上存在諸多局限性，例如：處...
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