技術編號：40407487
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及鈮酸鋰壓電涂層，特別涉及高純輕金屬摻雜linbo壓電涂層的制備方法。背景技術、工業(yè)領域常用的超聲波傳感器中，鈮酸鋰（linbo）是一種常用的制備壓電薄膜的涂層材料。目前一般選用磁控濺射技術，將鈮酸鋰制備成壓電涂層涂覆在襯底上。磁控濺射是指電子在電場作用下，在飛向襯底過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出ar正離子和新的電子；在電場作用下，新電子飛向襯底，ar正離子飛向陰極靶并高能轟擊靶材表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在襯底上形成薄膜。、然而，li元素...
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