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多運(yùn)行循環(huán)處理過程的分析的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40407455

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本申請(qǐng)案涉及用于分析與處理過程相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)的診斷方法;更具體來說,本申請(qǐng)案涉及用于分析與多運(yùn)行循環(huán)處理過程相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)的診斷方法,多運(yùn)行循環(huán)處理過程包括循環(huán)(cyclic)及/或循環(huán)的(looped)操作。背景技術(shù)、可通過使用制造設(shè)備來執(zhí)行一種或多種制造處理來生產(chǎn)產(chǎn)品。例如,半導(dǎo)體制造設(shè)備可用于通過半導(dǎo)體制造處理來生產(chǎn)基板。要被生產(chǎn)的產(chǎn)品具有適合目標(biāo)應(yīng)用的特定性質(zhì)。了解和控制制造腔室內(nèi)的特性有助于產(chǎn)品的一致性生產(chǎn)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、以下是本申請(qǐng)案的簡(jiǎn)化概述,以提供對(duì)本申請(qǐng)案的一些方面...
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