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一種清洗劑投料管的固定裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40407308

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本技術(shù)涉及一種固定裝置,具體為一種清洗劑投料管的固定裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體制造的過(guò)程中,需要通過(guò)指定的化學(xué)溶劑對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行清洗操作,從而將半導(dǎo)體上的雜質(zhì)進(jìn)行清洗去除,提高半導(dǎo)體制造的質(zhì)量。、目前,在對(duì)半導(dǎo)體清洗用化學(xué)溶劑進(jìn)行投料時(shí),化學(xué)溶劑會(huì)通過(guò)清洗劑投料管加注到清洗設(shè)備內(nèi)部。傳統(tǒng)的對(duì)于清洗劑投料管的固定采用的多為單點(diǎn)固定實(shí)現(xiàn)的,一旦清洗劑的加注流量波動(dòng)時(shí),投料管會(huì)隨之不斷的運(yùn)動(dòng),從而會(huì)對(duì)清洗劑投料造成影響,不利于使用;并且各種清洗設(shè)備所使用的投料管管徑各不相同,傳統(tǒng)的固定裝置無(wú)法實(shí)現(xiàn)很好...
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