技術(shù)編號：40406221
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開內(nèi)容涉及用于將深度強化學習用于制造系統(tǒng)處的時間約束管理的方法和機構(gòu)。背景技術(shù)、在基板成為成品(如晶片、電子設(shè)備等)之前，基板可以依據(jù)一組操作進行處理，其中每個操作都在制造系統(tǒng)的一個工具處執(zhí)行。在某些情況下，一個或多個操作可以經(jīng)受時間約束。時間約束指的是在完成一個操作后，要完成后續(xù)操作的特定時間量。例如，可以依據(jù)第一操作和第二操作來處理基板，在第一操作中，將第一材料沉積在基板的表面上，在第二操作中，將第二材料沉積在第一材料上。第一操作和第二操作可以經(jīng)受時間約束，其中第二材料要在特定的時間量...
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