技術編號：40406060
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及在將工件配置在托盤上的狀態(tài)下進行檢查的托盤內方式的工件輸送裝置及工件檢查裝置。背景技術、被從半導體的封裝或者晶片切分為多個后的芯片等的檢查大體被分為以下的兩種。第一種是在配置作為被檢查物的工件的托盤中配置有工件的狀態(tài)下進行檢查的托盤內方式(例如專利文獻)。第二種是從托盤將工件運出并載置到檢查臺上進行檢查、在檢查結束后再次運入到托盤上的拾取放置方式(例如專利文獻)。、現(xiàn)有技術文獻、專利文獻、專利文獻：日本特開－號公報、專利文獻：日本特開－...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。