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單電子晶體管射頻反射測(cè)量結(jié)構(gòu)及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40405264

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本發(fā)明中的至少一個(gè)實(shí)施例涉及量子和半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域,尤其涉及一種用于硅基半導(dǎo)體量子芯片的單電子晶體管射頻反射測(cè)量結(jié)構(gòu)及其制備方法。背景技術(shù)、量子計(jì)算具有超越經(jīng)典計(jì)算的潛力。在能夠?qū)崿F(xiàn)量子計(jì)算的各種系統(tǒng)中,半導(dǎo)體量子點(diǎn)中電子自旋的限制為量子信息處理提供了一個(gè)有吸引力的平臺(tái)。具體而言,硅中的自旋量子比特被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量子處理器的有力競(jìng)爭(zhēng)者,因?yàn)樗鼈兙哂辛孔颖忍爻叽缧 ⒕植亢腿挚刂颇?、互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(cmos)兼容性、相干時(shí)間長(zhǎng)、超精細(xì)相互作用弱以及可在開氏溫度(k)以上運(yùn)行的可能性。其...
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