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加料器及單晶爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40404811

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本申請(qǐng)涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備,特別是涉及一種加料器及單晶爐。背景技術(shù)、單晶爐是將多晶硅原料生產(chǎn)轉(zhuǎn)化為單晶硅棒的設(shè)備,在傳統(tǒng)的單晶硅棒生產(chǎn)工藝中,通常是將多晶硅原料一次性裝入石英坩堝內(nèi)熔化,然后采用直拉法拉制單晶硅棒。在此生產(chǎn)過(guò)程中,單晶硅棒的質(zhì)量受最大投料量限制,而最大投料量是由石英坩堝的尺寸決定的,因此得到的單晶硅棒長(zhǎng)度和重量都非常有限。為了提高效率就需要采用二次加料的方式來(lái)增加投料量,從而可往石英坩堝內(nèi)投入更多的硅料,以提高晶棒的長(zhǎng)度和重量,從而降低拉晶的成本。、加料器是使用較多的一種二次加...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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