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一種變面積式電容結構的差動角度傳感器的制作方法技術資料下載

技術編號:40404645

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本技術屬于傳感測量,涉及一種電容式角度測量方法,具體涉及一種變面積式電容結構的差動角度傳感器。背景技術、角位移測量在工業(yè)、航空、船舶等多個領域具有廣泛的應用。按照測量原理的不同,可以分為光電式、磁電式、電容式、電感式和電阻式等類型。、現(xiàn)有的角度傳感器或角位移傳感器如rvdt旋轉可變差動變壓器式角位移傳感器,結構復雜,制造難度高,價格昂貴;再如電阻式電位器角位移傳感器,電位器繞制難度高,有機械觸點抗振動性能差等。技術實現(xiàn)思路、實用新型目的:、為了解決上述問題,提供了一種變面積式電容結構的差...
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