技術(shù)編號：40402365
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及激光波前探測，特別是涉及一種基于外差剪切干涉的激光波前相位測量裝置。背景技術(shù)、光學(xué)干涉測量技術(shù)是利用光的干涉原理進行非接觸測量的一種技術(shù)。常規(guī)的干涉測量裝置通常利用分光元件將光束分為兩束，一束光作為參考光，一束則作為探測光透射或者反射經(jīng)過被測物體，兩束光經(jīng)過不同的路徑最后在探測器上進行疊加形成干涉圖樣。然而，由于參考光與探測光分別經(jīng)過不同的路徑和光學(xué)器件，任何一路光束受到熱擾動或是機械振動，對最終的干涉疊加圖樣都會產(chǎn)生巨大影響。因此該類干涉測量裝置往往對實驗環(huán)境要求較高。、剪切干涉...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。