技術(shù)編號：40401710
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及半導體制造行業(yè)機臺，具體為一種用于半導體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置。背景技術(shù)、以往的機臺腔體蓋子通過馬達驅(qū)動磁鐵去轉(zhuǎn)動，沒有檢測轉(zhuǎn)速的功能；存在缺陷，遇到問題，不能有效抓到現(xiàn)象，呈現(xiàn)問題，影響產(chǎn)品質(zhì)量；本實用新型在現(xiàn)有機臺腔體蓋子的基礎上新加裝檢測轉(zhuǎn)速的控制器，可以實時跟進。技術(shù)實現(xiàn)思路、本實用新型的目的在于提供一種用于半導體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：、一種用于半導體機臺腔體內(nèi)偵測馬...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。