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用于電子顯微鏡和其他真空室的光學(xué)提取探頭的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40401620

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本發(fā)明涉及一種光學(xué)提取探頭。具體地,描述了一種光學(xué)提取探頭,該光學(xué)提取探頭被配置為將樣本光提取到不同環(huán)境中以及從不同環(huán)境中提取樣本光。背景技術(shù)、為了在真空室內(nèi)部執(zhí)行光譜工作,通常必須將光束引入室內(nèi)和引出室外,以便可通過在外部的光譜儀觀察室內(nèi)部的試樣。光學(xué)件需要保持特定視場的圖像質(zhì)量而不會出現(xiàn)過度模糊或漸暈。此外,光學(xué)件通常必須與在室內(nèi)的其他儀器和檢測器共享空間,諸如掃描電子顯微鏡(sem)的束。、美國專利號('專利)描述了一種離軸拋物面(oap)鏡的排布結(jié)構(gòu),其中,一個鏡...
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