技術(shù)編號(hào)：40399462
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備，尤其涉及一種通用對(duì)位機(jī)構(gòu)及光刻機(jī)。背景技術(shù)、光刻機(jī)是一種半導(dǎo)體工業(yè)中常用的設(shè)備，用于將電路圖案轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體芯片上。在制造芯片時(shí)，需要使用光刻機(jī)將電路圖案“鍍”在芯片表面上，以便進(jìn)行后續(xù)的加工工藝。對(duì)位機(jī)構(gòu)是光刻機(jī)中一種用于推動(dòng)晶圓的部件，其能夠?qū)A進(jìn)行定位。、現(xiàn)有技術(shù)中，由于不同機(jī)型對(duì)氣缸供氣方式的差別以及框架結(jié)構(gòu)的不同，對(duì)位機(jī)構(gòu)僅適用于對(duì)應(yīng)型號(hào)的光刻機(jī)。在兩種不同機(jī)型光刻機(jī)補(bǔ)充對(duì)位機(jī)構(gòu)時(shí)，由于結(jié)構(gòu)上的差異，不論是自主加工還是購(gòu)買現(xiàn)貨都要涉及到兩種型號(hào)，不僅難以尋找貨...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。