技術(shù)編號：40398439
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅碳負(fù)極生產(chǎn)控制，具體是一種化學(xué)氣相沉積制備硅碳負(fù)極生產(chǎn)程序的控制方法。背景技術(shù)、化學(xué)氣相沉積制備鋰電池硅碳負(fù)極材料，是在多孔碳顆粒中通過化學(xué)氣相沉積硅材料制備硅碳復(fù)合材料.沉積過程中，將比表面積超過m/g的多孔碳顆粒分布在反應(yīng)器中，在惰性氣體保護(hù)下將反應(yīng)器溫度升致-c，通入甲硅烷(sih)氣體，甲硅烷分子吸附到多孔碳內(nèi)部后，在高溫下熱解下形成均勻分散在多孔碳顆粒內(nèi)部的納米硅顆粒.為防止納米硅組分在空氣中的氧化反應(yīng)，在硅填充完畢后，需要將硅烷氣體切換成為碳源氣...
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