技術編號：40396036
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及半導體設備，具體是一種半導體工廠用傳輸閥的防塵過濾裝置。背景技術、半導體行業(yè)隸屬電子信息產業(yè)，屬于硬件產業(yè)，以半導體為基礎而發(fā)展起來的一個產業(yè)。、目前在半導體工廠生產工作中往往需要使用到傳輸閥，以此能夠按照需要調節(jié)流量，實現(xiàn)精密控制，避免管路堵塞和泄漏，確保流體傳輸?shù)耐暾院桶踩裕乾F(xiàn)有的傳輸閥在使用過程中，輸送的物料中均含有大量的粉塵和雜質，如若得不到徹底的過濾，導致粉塵進入到傳輸閥的內部，不但會對下一次的傳輸物料造成污染，并極易對傳輸閥的內腔造成污染和堵塞現(xiàn)象，從而導致閥門...
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