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本發(fā)明屬于重?fù)絾尉ЮХ椒ǖ?，具體涉及一種降低重?fù)匠妥枰糯螖?shù)的方法。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，低中壓mosfet器件用超低阻重?fù)搅住⒅負(fù)缴橐r底硅片的需求量越來越大，伴隨著超低阻大量的摻雜劑的摻入，使得摻雜比增大，在摻雜過程中，摻雜劑固體通過鐘罩全部升華后即打開隔離閥提取鐘罩，進(jìn)行試溫-h后開始引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩的工藝操作，而升華摻雜劑由爐內(nèi)氣體流動帶入熔湯上表面，但是由于摻雜劑濃度過高，熔湯中復(fù)雜的對流無法將摻雜劑帶入熔湯內(nèi)部，導(dǎo)致超低阻大量的雜質(zhì)摻雜后堆積在熔湯上部，當(dāng)進(jìn)入放肩工...
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