技術(shù)編號：40394459
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及硅片加工領(lǐng)域，具體為一種硅片加工用涂膠裝置。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)和技術(shù)發(fā)展，對生產(chǎn)設(shè)備的自動化要求越來越高。硅片是半導(dǎo)體元件制造的材料，一般情況下，多晶硅通過重熔拉晶，切片，倒角，研磨，拋光，清洗等工序后，即可獲得表面光滑平坦，邊緣整齊的芯片級硅片。在硅片加工過程中，涂膠是必不可少的一道工序。、現(xiàn)有的硅片加工用涂膠設(shè)備通常會先將膠水滴加到硅片上，之后通過工具將膠水抹勻，但是在涂膠的過程中添加的料量較多時，多余的膠水會被推出棄用，造成了資源的浪費。技術(shù)實現(xiàn)思路、本實用新型...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。