技術編號：40394452
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及連續(xù)爐，尤其涉及一種氮化鋁粉體合成用連續(xù)爐。背景技術、氮化鋁具有高導熱性、高絕緣性、高強度及與硅相接近的熱膨脹系數(shù)，是一種性能優(yōu)異的半導體封裝材料。目前高性能氮化鋁粉體的主要合成方法為碳熱還原氮化法，即alocn↑→alnco↑。該工藝以氧化鋁粉體和過量的碳源為原料在流動的氮氣氣氛下完成反應過程?，F(xiàn)有技術中，氮化鋁粉體合成方式有兩種：)間歇式合成，存在爐內溫場均勻度低，批次間穩(wěn)定性較差，每次需長時間的升降溫過程；)連續(xù)式合成，具體過程為裝有反應前驅體(氧化鋁-碳...
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