技術(shù)編號：40391571
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣浮結(jié)構(gòu)制造，特別涉及一種動態(tài)傾斜補(bǔ)償?shù)碾p軸氣浮平臺、控制方法及曝光機(jī)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體曝光機(jī)、精密激光切割機(jī)等高端制造設(shè)備中，雙軸氣浮平臺因其卓越的穩(wěn)定性、平滑性和負(fù)載能力，已成為實(shí)現(xiàn)高精度定位和運(yùn)動控制的關(guān)鍵部件。然而，由于氣浮墊的固有特性——即氣膜的存在和有限的剛度，當(dāng)平臺受到外部力作用或自身運(yùn)動時(shí)，很容易出現(xiàn)俯仰或橫滾傾斜的現(xiàn)象，尤其是啟停瞬間或運(yùn)動至行程極限時(shí)，氣膜厚度的變化可能導(dǎo)致氣浮板間產(chǎn)生破壞性的刮擦，嚴(yán)重影響曝光機(jī)的加工精度和設(shè)備壽命。、公開號為cn...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。