技術(shù)編號：40390758
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于傳感器領(lǐng)域，具體涉及一種無線鍵合壓電tof傳感器制作方法。背景技術(shù)、傳統(tǒng)的壓電tof傳感器如倒車?yán)走_(dá)，采用壓電塊材超聲換能器，體積大，功耗大。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，市面上出現(xiàn)了采用壓電式微機(jī)械超聲換能器(pmut)制作的tof傳感器，其中的pmut采用mems工藝制備，體積小、功耗小、一致性好、成本低。近幾年，還出現(xiàn)了將pmut和asic芯片封裝在一起的tof傳感器芯片，進(jìn)一步降低了傳感器的體積和成本。、但是，現(xiàn)在的即使是最先進(jìn)的壓電tof傳感器，也是采用錫封、wire?bondi...
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