技術編號:40389078
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體,尤其是涉及一種半導體裝置和半導體裝置的制造方法。背景技術、rc-igbt(逆導型絕緣柵型雙極晶體管reverse?conducting-insulated?gatebipolar?transistor)是指在單個芯片上集成了igbt(絕緣柵型雙極晶體管insulatedgate?bipolar?transistor)和frd(快恢復二極管fast?recovery?diode)。一般而言,行業(yè)中通常將igbt和frd通過集總式或分布式的方法,集成在芯片的元胞區(qū),二者共用終端,...
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