技術(shù)編號(hào):40389050
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及陶瓷基板,更具體地,涉及一種氮化硅流延膜疊層材料及其疊層工藝和應(yīng)用。背景技術(shù)、氮化硅陶瓷具有較高的熱導(dǎo)率、機(jī)械性能和耐腐蝕性,能夠作為散熱基板、熱管理材料或絕緣層廣泛的應(yīng)用于高功率電源模塊中。、氮化硅陶瓷基板一般通過流延成型制備,現(xiàn)有的氮化硅流延膜疊層材料制備工藝一般為:將流延膜依次進(jìn)行疊層、真空包封和溫等靜壓,但是壓制后坯體容易出現(xiàn)鼓泡或膜層分離的現(xiàn)象。原因是氮化物陶瓷流延成型過程中,氮化物本身對(duì)分散劑、粘結(jié)劑等吸附能力較弱,即陶瓷粉體表面包裹的有機(jī)物偏少,導(dǎo)致膜片在疊壓中因?yàn)檎?..
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