技術編號：40387075
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請屬于硅片生產(chǎn)設備制造領域，尤其涉及一種硅片轉(zhuǎn)運裝置。背景技術、在硅片的生產(chǎn)過程中，需要將硅片在各個不同工序中流轉(zhuǎn)，通常是采用硅片轉(zhuǎn)運裝置將硅片自上一道工序輸送至下一道工序?，F(xiàn)有的硅片轉(zhuǎn)運裝置大多包括輸送機構(gòu)、移載機構(gòu)和吸盤，吸盤安裝在移載機構(gòu)的驅(qū)動端，移載機構(gòu)驅(qū)動吸盤移至輸送機構(gòu)的上方并吸附輸送機構(gòu)上的硅片后，再將吸附的硅片轉(zhuǎn)運至下一道工序。、然而，在實際的生產(chǎn)過程中，因吸盤與輸送機構(gòu)的間距很小，而輸送機構(gòu)的高度又是固定的，這樣就造成在更換或維修吸盤時，沒有合適的操作空間，操作不便，工...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權(quán)，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。