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一種研磨液配給裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40383136

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本技術(shù)涉及供給設(shè)備,特別是涉及一種研磨液配給裝置。背景技術(shù)、目前,磷化銦襯底在制造高頻高功率器件、光纖通信、無(wú)線傳輸、射電天文學(xué)等射頻器件領(lǐng)域存在應(yīng)用市場(chǎng)。使用磷化銦襯底制造的射頻器件已在衛(wèi)星、雷達(dá)等應(yīng)用場(chǎng)景中表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。在雷達(dá)和通信系統(tǒng)的射頻前端、模擬/混合信號(hào)寬帶寬電路方面具有較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力,適合高速數(shù)據(jù)處理、高精度寬帶寬a/d轉(zhuǎn)換等應(yīng)用。此外,磷化銦基射頻器件相關(guān)器件如低噪聲放大器、模塊和接收機(jī)等器件還被廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星通信、毫米波雷達(dá)、有源和無(wú)源毫米波成像等設(shè)備中。在ghz以上的...
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