技術(shù)編號：40382839
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)屬于微機(jī)電，特別涉及一種低噪聲mems加速度計。背景技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)(mems，micro?electro?mechanical?system)包括微傳感器、微驅(qū)動器和相應(yīng)的處理電路，是在微電子和微機(jī)械技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新學(xué)科。它采用集成電路兼容的批量加工技術(shù)制造，構(gòu)成的原件尺寸在毫米-微米量級范圍內(nèi)，相比傳統(tǒng)機(jī)械器件具有體積小、重量輕、可靠性高、易于集成等優(yōu)點，極大地提高了系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。mems加速度計是利用微機(jī)械加工技術(shù)，將加速度信號轉(zhuǎn)換為慣性力完成物理量檢測的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。