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一種微納結(jié)構(gòu)加工裝置技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40359804

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本發(fā)明涉及微納加工,具體的說是微納結(jié)構(gòu)加工裝置。背景技術(shù)、材料表面的微納結(jié)構(gòu)能夠賦予材料許多特殊的光學(xué)、力學(xué)、聲學(xué)等性能,是材料加工的一個(gè)重要研究領(lǐng)域;現(xiàn)有的表面微結(jié)構(gòu)制造方法,包括光刻、紫外曝光、d打印等,其設(shè)備昂貴、對加工環(huán)境有嚴(yán)格的要求,且只能制造某些特定材料的表面結(jié)構(gòu),并沒有很強(qiáng)的普適性,例如:目前,光刻無法對金屬材料進(jìn)行加工,紫外曝光只能對橡膠及塑料制品進(jìn)行加工,對于某些高級(jí)材料如?金屬合金的d打印技術(shù)尚未完全成熟;電火花加工在某些情況下也可用來制備表面結(jié)構(gòu),且設(shè)備價(jià)格相對便宜,...
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