技術(shù)編號：40322002
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及真空泵，特別涉及一種真空泵的氮氣控制系統(tǒng)。背景技術(shù)、目前在真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域中，使用的制程氣體種類繁多，例如腐蝕性氣體會造成真空泵殼體、轉(zhuǎn)子等產(chǎn)生腐蝕，影響真空泵機(jī)械性能，影響真空泵使用壽命；而氮氣是一種穩(wěn)定無害的氣體，將氮氣通入泵浦內(nèi)可以很好的保護(hù)螺桿泵，有效延長使用壽命，減緩腐蝕問題。、氮氣在真空泵上的應(yīng)用，其中一個功能就是氮封，通過通入一定流量的氮氣，阻隔制程氣體進(jìn)入齒輪箱及油箱內(nèi)。氮氣在真空泵上的另一大用途就是吹掃功能，通過將氮氣通入泵浦內(nèi)達(dá)到肅清的功能，且可以在停機(jī)前進(jìn)行一...
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