技術(shù)編號：40310755
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體而言涉及一種mems器件及其制備方法、電子裝置。背景技術(shù)、電子煙是一種類卷煙產(chǎn)品，原理是通過加熱油艙中的液態(tài)煙油產(chǎn)生“蒸汽”供用戶吸食，有著與卷煙類似的外觀、煙霧、味道和感覺。由于電子煙中沒有一氧化碳和焦油等主要有害物質(zhì)，所以危害遠(yuǎn)比真實香煙小，因此受到越來越多戒煙者的過渡使用和年輕人的喜愛。、目前電子煙中的壓力傳感器基本都是采用駐極體電容式傳感器和mems電容式壓力傳感器。比較原始的基于駐極體原理的電容式傳感器，這種駐極體傳感器一致性不好造成吸食口感差，不耐高溫導(dǎo)致批...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。