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一種光學表面納米錐結(jié)構(gòu)的制備方法及納米錐結(jié)構(gòu)技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40303031

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本申請涉及微納制造,尤其涉及一種光學表面納米錐結(jié)構(gòu)的制備方法及納米錐結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、納米錐結(jié)構(gòu)因其在寬帶和大接受角減反射方面的優(yōu)異性能,在多個領(lǐng)域具有廣泛的應用前景,包括光學窗口、光伏、顯示面板和激光設(shè)備等。在光學元件表面制備納米錐結(jié)構(gòu)能夠顯著減少表面反射,提高光透射率,從而提升設(shè)備的整體效率和性能。、相關(guān)技術(shù)中的自掩模等離子體刻蝕、掩模引導等離子體刻蝕等方式,能夠在基底表面直接刻蝕出納米錐結(jié)構(gòu)。但是,目前納米錐的制備方法大多聚焦于在平面窗口片、球形整流罩等具有簡單幾何形狀表面的光學元件上,...
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