技術(shù)編號：3821840
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)涂布(Spin coating)制程裝置，使用在基材保護(hù)層的旋轉(zhuǎn)涂布上，尤其是指一種可使涂布材料達(dá)到較佳的均勻度(uniformity),進(jìn)而提升產(chǎn)品良率的旋轉(zhuǎn)涂布制程的成膜裝置。背景技術(shù)隨著信息時代的需求，利用光來記錄、再生情報的光學(xué)記錄媒體，例如光盤片、盤片(CD)或DVD等，已普遍被應(yīng)用，且伴隨著光學(xué)記錄媒體朝向高儲存密度、小體積、高速記錄及再生及制作成本低的趨勢下，光學(xué)記憶媒體的需求更是與日俱增，光盤的制作技術(shù)也日益精進(jìn)。在制作光...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。