技術(shù)編號：3808146
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于微電子機(jī)械領(lǐng)域，特別涉及采用微加工方法實(shí)現(xiàn)的一種壓電 懸臂梁驅(qū)動柔性薄膜式液體噴射結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)液體噴射結(jié)構(gòu)是整個(gè)液體噴射裝置中最核心的部分。液體噴射結(jié)構(gòu)及含有液 體噴射結(jié)構(gòu)的裝置典型應(yīng)用于噴墨打印，圖文記錄、印刷和平面廣告制作等方面， 在微細(xì)圖形實(shí)現(xiàn)等工業(yè)制造領(lǐng)域也有應(yīng)用。采用壓電原理制作的液體噴射結(jié)構(gòu)， 容易控制液滴大小和噴射速度，實(shí)現(xiàn)高精度的液滴噴射，耐用性好。因此，壓電 工作方式是液體噴射結(jié)構(gòu)采用的重要原理之一。一種已有的壓電式液體...
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