技術編號：3801728
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種向液晶用玻璃方形基板、半導體晶片、薄膜液晶用柔性基板、光掩膜用基板、濾色器用基板等基板(以下，僅稱為“基板”)的表面涂覆光致抗蝕劑等處理液的技術。更詳細的說，是涉及一種使噴嘴的狀態(tài)正?；蕴岣咄扛簿鹊募夹g。背景技術 一直以來，公知有向基板的表面涂覆光致抗蝕劑等處理液的基板處理裝置。作為這種基板處理裝置，公知的有使用具有狹縫狀噴出部的狹縫噴嘴進行形成涂層的涂覆處理(狹縫涂覆)的狹縫式涂覆機。在涂覆后不進行用于使涂層厚度均勻的旋轉處理的狹縫式涂...
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