技術(shù)編號(hào)：3796049
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種干燥方法以及干燥裝置。在使涂敷液供給部與基板相對(duì)移動(dòng)并在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序中，會(huì)產(chǎn)生涂敷引起的條紋不均，成為外觀檢查不良的原因。因此，為了解決該課題，本發(fā)明提供一種干燥方法以及干燥裝置。在使涂敷液供給部與基板相對(duì)移動(dòng)而在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序和通過對(duì)該已涂敷的膜進(jìn)行干燥來形成涂敷膜的干燥工序中，有意地在干燥工序中產(chǎn)生干燥不均，由此，緩和在涂敷工序中所產(chǎn)生的條紋不均，使其不明顯，從而防止產(chǎn)生外觀不良。專利說明干燥方法以及干燥裝置 ...
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