技術(shù)編號(hào):3794447
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供用于拋光含鉬金屬的表面的組合物和方法。本文中描述的拋光組合物(漿料)包含懸浮于包含水溶性表面活性物質(zhì)和氧化劑的酸性含水介質(zhì)中的無(wú)機(jī)粒狀研磨劑材料(例如,氧化鋁或二氧化硅)的研磨劑濃縮物。所述表面活性物質(zhì)是基于所述粒狀研磨劑的ζ電位選擇的,使得當(dāng)所述研磨劑具有正的ζ電位時(shí),所述表面活性物質(zhì)包括陽(yáng)離子型物質(zhì),和當(dāng)所述粒狀研磨劑具有負(fù)的ζ電位時(shí),所述表面活性物質(zhì)包括陰離子型物質(zhì)、非離子型物質(zhì)、或其組合。專利說(shuō)明用于拋光巧的組合物和方法 [0001...
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