技術(shù)編號：3785238
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)親水基表面活性劑1-8份，多聚甲醛4-6份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4-9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土4-10份，滑石粉4-6份，硬脂酸鋅4-6份，抗氧劑2-4份，防老劑1份，氯化鈣2-5份。本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械研磨劑中包括親水基表面潔性劑材料，可以降低化學(xué)機(jī)械研磨劑和正在水性薄膜間的表面張力，使化學(xué)機(jī)械研磨劑和琉...
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