技術(shù)編號：3782828
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種研磨制品，所述研磨制品包含粘結(jié)研磨體，所述粘結(jié)研磨體具有由玻璃化的材料制成的粘結(jié)材料、含在所述粘結(jié)材料中的包含第一類型超級研磨材料的研磨顆粒、所述粘結(jié)研磨體的總體積的至少約50體積％的孔隙率、和不大于約5.5ppm/℃的ΔCTE，其中ΔCTE定義為所述粘結(jié)材料的CTE與所述研磨顆粒的CTE之間的差異。專利說明 [0001] 下文涉及研磨制品，更具體而言，具有特別高的量的孔隙率的粘結(jié)研磨制品。 背景技術(shù) [0002] 在電子器件的生產(chǎn)...
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