技術(shù)編號：3778237
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及半導(dǎo)體器件，具體地涉及發(fā)生在半導(dǎo)體器件中的反向短溝道效應(yīng)。半導(dǎo)體集成電路中減小其特征尺寸的趨勢產(chǎn)生了溝道長度接近于0.05微米的器件。但是，隨著有效溝道長度(Leff)的減小，溝道的導(dǎo)電率反向且發(fā)生導(dǎo)電的門電壓一門限(閾)電壓一增加到理論的預(yù)期水平之上。附圖說明圖1表示電壓的這種增加，或反向短溝道效應(yīng)(RSCE)，這一般說來是一種不希望出現(xiàn)的效應(yīng)。圖1中的虛線表示在帶柵極的器件中理想的溝道導(dǎo)電性能。隨著溝道長度的減小而門限電壓反而趨向更高這...
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